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真空泵系统

实验室真空系统：用于真空蒸馏和真空干燥并回收溶剂是理想的。---是用真空控制器进行流程控制使真空压力可控，进而使工作流程程序化，---了准确地进行真空蒸馏，以及高回收率，节能，。整个系统在与气体接触的部位都做特氟龙(ptfe)涂层处理，所以能---它的抗化学腐蚀能力。

实验室真空系统的类型：

有带控制器的自动控制和不带控制器的手动控制两大类；

带控制器的有三种：

（1）标准型，由电磁阀调节气体流量达到控制真空压力的目的。

（2）经济型，通过自动关闭和开启马达来达到控制真空压力的目的。

（3）变频控制型，由变频马达通过改变马达转---达到准确地控制真空压力的目的.

真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从---到---真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：

1、真空泵的---压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的---压力低于工艺要求约一个数量级。

2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，半导体设备真空系统，泵的工作点

应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、选择真空机组：

(1) 当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，小型真空系统，互相补充才能满足工艺要求。

(2) 有的真空泵不能在---压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压力低于---压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，真空系统，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。

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