光刻胶真空机组-真空机组-真空机组维修

油式旋片真空泵主要优点：

1.易于安装及保养

2.油镜视窗大，便于确认油污染状况

3.直接驱动，免皮带.齿轮松弛或损耗

4.高抽速，光刻胶真空机组，真空度稳定，噪音小，震动低

5.空气冷却，散热效果好，螺栓固定泵浦

6.内置油雾分离器，有效避免油气制程污染，洁净环境

7.泵带气镇阀装置，可过滤一定量水蒸气与可凝性气体，---

8.进气口装有逆止阀，当泵停止时，逆止阀能有效避免油气逆流

用途：

主要应用于真空镀膜、微电子、光电半导体、太阳能、冶炼、封装测试、真空含浸、等离子清洗等行业。

单级旋片真空泵系统是理想的高真空获得设备，真空机组，用于抽除普通空气或惰性气体和少量可凝性蒸汽。真空系统是由真空泵、plc程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、---过滤总成等组成的成套真空系统。

油式单级旋片真空泵工作原理：

转子在圆形的缸体内通过电机联节驱动旋转，转子轴线偏离缸体中心线，因此转子与缸体内壁形成线性接触，叶片沿着转子的滑槽滑动，将缸体和转子之间隔成多个工作腔，当工作腔和进气口相连时，吸入气体，随着转子的旋转，被吸入的气体被压缩，进而排除到油气分离器内。恒定的压力差使真空泵润滑油进入压缩腔。润滑油和被抽气体一起进入油气分离器，通过重力作用和油气滤网及排气过滤器网的作用下使得油、气分离，电池厂真空机组，润滑油回落到油箱底部，再次循环，不含油的气体通过排气口排向---。