真空系统改造-光伏真空系统维修-真空系统维修

单级旋片真空机组是选用壹台x型单级旋片式真空泵进行合理组合，配上缓冲储气罐和

配电箱，成为一套新型的全自动真空度控制的真空设备，从而弥补了原来真空泵在使用上的

不足。

   本真空机组的控制系统有手动档和自动档两种：

   手动挡：通过开关按钮来控制真空机组的运行与停止，即按下启动开关，真空机组机会不

       停止的运行，按下停止开关真空机组便停止工作。

   自动挡：把旋钮开关旋至“自动”，真空泵就会启动，直至达到真空表设置的上限，真空机

      组就会停止运行。随着真空的使用，当真空度降低到真空表设置的真空度下---，

      真空机组就会自动启动，达到真空度上限才会停止运行，如此循环往复。此种功能

      ---适用在用气量不大的场合。

优点：

1， 加大抽气量，由壹台真空泵和一个缓冲储气罐的组合就可以增加总的（瞬时）抽气量。

2，节约电能源，由一个缓冲储气罐，配上真空表的控制就可以节约能源

3，提高使用寿命，真空泵使用可降低真空泵的温升，泵不会过热；真空表控制真空可以减少

真空泵运行时间；缓冲储气罐加上进气过滤器可以减少异物和微颗粒状固体进入真空泵。

4，杜绝泵返油，机组设计了阻油结构，整个抽气装置在停止运行时，真空泵油不会返到被抽

容器里去。

漏孔校准采用四极质谱比对法校准。比对法校准较小漏率真空漏孔时，为了得到与被校漏孔相同或相近的气体流量，一般采用固定流导法作为标准气体流量获得的手段，该方法具有结构简单、操作方便、测量不确定度小、校准精度---优点。

　　原理为利用已知流量的标准漏孔，通过稳压室压力的调节，向双球校准室注入稳定流量的气体，并利用分子泵机组对真空校准室持续抽气，并通过微调阀调节气体的流量，使校准室压力维持在合适的校准压力范围内，为校准室建立起漏孔气体的动态平衡。首先利用四极质谱计获得标准漏孔的离子流参数，再切换到被较漏孔，获得被较漏孔状态下的四极质谱计离子流。通过公式(1)计算得出被较漏孔漏率数值。