半导体真空系统维修-真空系统维修-真空系统定制

真空泵故障诊断与维修技巧

故障一：速度太低;

解决方法：检查电机的接线是否正确，电压是否正常或者透平的蒸汽压力是否正常。

故障二：吸程太高;

解决方法：检查现有的净压头(入口管线太小或太长会造成很大的磨擦损失)。

故障三：系统水头太高;

解决方法：检查系统的水头(---是磨擦损失)。

故障四：叶轮或管线受堵;

解决方法：检查有无障碍物。

真空泵维修厂家总结

故障五：真空泵没有注水或没有适当排气;

解决方法：检查真空泵壳和入口管线是否全部注满了液体。

故障六：产生空气或入口管线有泄漏;

解决方法：检查入口管线有无气穴和/或空气泄漏。

事实上简单的真空系统只是能获得一个粗真空，镀膜机真空系统维修，而想要获得高真空时，通常在真空系统中串联一个高真空泵，比如罗茨泵和螺杆泵等都是获得高真空的泵。当串联一个高真空泵之后，真空系统维修，通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门，以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵，为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板。根据要求，还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀，散热器等等，这样就构成了一个较完善的高真空系统。